新2网址太阳电池衬底复用的衬底保护结构及加工工艺_2015109269817_说明书_专利查询_专利网

技术场地

本详细讲解属于太阳能电池技术场地。,次要地触及一种新2网址太阳电池衬底复用的衬底保卫构造及费用术语。

树立技术

眼前,薄膜太阳能电池的次要典型在光伏指定而尚未上任的上、硅基薄膜电池和铜铟镓锡(CIGS)薄膜。杂多的辩证的薄膜太阳能电池以其特里面的一部分优势。砷化镓太阳电池具有高光电现象替换效力,使相称高,耐热性的优点。砷化镓是一种整齐的过渡辩证的。,吸取95%的晒太阳,砷化镓太阳能电池只需求5-10微米厚,可制成超薄太阳能电池。

固然新2网址太阳电池相形于倚靠辩证的的薄膜太阳电池具有无上的的光电现象替换效力,不管到什么程度如今,主体的准备工作术语都是为了剥离内涵层。,这会通向砷化镓基板的糟蹋。,这么换异的本钱很高。基板复用技术是由,高专一性高频衰败液对牺牲行为层的衰败,内涵层剥离,砷化镓基板可以重新使用。。经过基板多路运送,无效的折扣了新2网址太阳电池的本钱。不管到什么程度,在基板复用换异中,由于在牺牲行为层的衰败换异中,固然选择了高专一性的氢氟酸衰败喝酒,不过,砷化镓基板依然受到衰败。,形成因为外面的粗糙渡过高,内涵种植的砷化镓太阳电池类似格子框架的设计缺陷较多。,光电现象替换效力折扣。

本详细讲解因为衬底复用新2网址太阳电池的费用修理与费用术语,在AlAs牺牲行为层和砷化镓衬底经过内涵种植多整套的酸性保卫层和碱性保卫层,保卫砷化镓因为不受E剥离减少。这折扣了被剥离的砷化镓基板的外面的粗糙度。,养育复用衬底虚构的新2网址太阳电池效力异常无益,极大地提起了新2网址太阳能电池在空的与余地的敷用药远景。

详细讲解满意的

本详细讲解要处理的技术成绩一:提出一种新2网址太阳电池衬底复用的衬底保卫构造及费用术语。该显然因为规矩衬底复用新2网址太阳电池虚构换异中,内涵层剥皮换异中砷化镓基体的减少,高外面的粗糙度技术阻碍,本详细讲解的有意是克制,因为衬底复用新2网址太阳电池的费用修理与费用术语,在AlAs的牺牲行为层和砷化镓衬底经过内涵种植多整套的酸性保卫层和碱性保卫层,保卫砷化镓因为不受E剥离减少,折扣砷化镓外面的粗糙度的学习,养育复用衬底虚构的新2网址太阳电池效力。本详细讲解要处理的技术成绩一,敷用药内涵种植、物质的化学组成衰败等技术造成一种新2网址太阳电池衬底复用的衬底保卫构造及费用术语。

本详细讲解为处理技术成绩所采取的技术程序。:

一种新2网址太阳电池衬底复用的衬底保卫构造,包含:砷化镓基板(14),种植于砷化镓基板(14)上的砷化镓缓冲层(13),种植于砷化镓缓冲层(13)上的第五Gainas酸保卫层(12),种植于第五Gainas酸保卫层(12)上的第五Gainp碱性保卫层(11,种植于第五Gainp碱性保卫层(11上的月的第四日层Gainas酸性保卫层(10,种植于月的第四日层Gainas酸性保卫层(10上的月的第四日Gainp碱性保卫层(9,种植于月的第四日Gainp碱性保卫层(9上的第三层Gainas酸性保卫层(8,种植于第三层Gainas酸性保卫层(8上的第三Gainp碱性保卫层(7,种植于第三Gainp碱性保卫层(7上的次要的Gainas酸保卫层(6,种植于次要的Gainas酸保卫层(6上的次要的Gainp碱性保卫层(5,种植于次要的Gainp碱性保卫层(5上的最好者Gainas酸保卫层(4,种植于最好者Gainas酸保卫层(4上的最好者GAINP碱性保卫层(3),种植于最好者GAINP碱性保卫层(3)上的牺牲行为层(2),在牺牲行为层(2)(1)上种植的砷化镓电池;牺牲行为层(2)是一点钟alas层或al层。xGa1-x里面之一;里面:

所述砷化镓基板(14)为n型掺杂的GaAs衬底,砷化镓基板(14)的厚度余地为200~700微米,掺杂浓度为1×117—1×1018cm-3;砷化镓缓冲层(13)的厚度从200到1000十亿分之一公尺不同。;

第五层Gainas酸保卫层(12、第五Gainp碱性保卫层(11、月的第四日层Gainas酸性保卫层(10、月的第四日Gainp碱性保卫层(9、第三层Gainas酸性保卫层(8、第三Gainp碱性保卫层(7、次要的Gainas酸保卫层(6、次要的Gainp碱性保卫层(5、最好者Gainas酸保卫层(4、最好者Gainp碱性保卫层(3)的厚度余地为5。;

牺牲行为层(2)的厚度余地为20至100 nm。。

额外的:≤x。

一种新2网址太阳电池衬底复用衬底保卫构造的费用术语,这包含以下靠近:

靠近101、金属有机物质的化学组成气相确保金技术,种植气温在500到800摄氏温度经过。,感兴趣的事索赔1所述的基板保卫构造是陆续种植的。;

靠近102、用氢氟酸衰败喝酒(2)衰败牺牲行为层,剥离砷化镓基板和砷化镓电池;HF衰败喝酒的衡量为HF和H。2O的生产能力比为1;

靠近103、物质的化学组成衰败去除因为保卫层;详细靠近如次:

最好者层Gainp碱性保卫涂层的衰败换异为F。:

衰败性碱衰败喝酒的构造,衰败性喝酒包含氢氯酸和水。,氢氯酸与水的生产能力比为1。,室温下碱衰败喝酒,衰败工夫为30s-90s;

最好者层Gainas酸保卫层的衰败换异如次:

衰败性酸喝酒的构造,蚀刻液包含氨和强双氧水。,氨与强双氧水的生产能力比为1。,酸蚀液的气温余地为35~45℃。,衰败工夫为3-5分钟;

次要的层Gainp碱性保卫涂层的衰败换异如次::

衰败性碱衰败喝酒的构造,衰败性喝酒包含氢氯酸和水。,氢氯酸与水的生产能力比为1。,室温下碱衰败喝酒,衰败工夫为30s-90s;

次要的层Gainas酸保卫层的衰败换异如次:

衰败性酸喝酒的构造,蚀刻液包含氨和强双氧水。,氨与强双氧水的生产能力比为1。,酸蚀液的气温余地为35~45℃。,衰败工夫为3-5分钟;

第三层Gainp碱性保卫涂层的衰败换异为F。:

衰败性碱衰败喝酒的构造,衰败性喝酒包含氢氯酸和水。,氢氯酸与水的生产能力比为1。,室温下碱衰败喝酒,衰败工夫为30s-90s;

第三层Gainas酸保卫层的衰败换异如次:

衰败性酸喝酒的构造,蚀刻液包含氨和强双氧水。,氨与强双氧水的生产能力比为1。,酸蚀液的气温余地为35~45℃。,衰败工夫为3-5分钟;

月的第四日层Gainp碱性保卫涂层的衰败换异如次::

衰败性碱衰败喝酒的构造,衰败性喝酒包含氢氯酸和水。,氢氯酸与水的生产能力比为1。,室温下碱衰败喝酒,衰败工夫为30s-90s;

月的第四日层Gainas酸保卫层的衰败换异如次:

衰败性酸喝酒的构造,蚀刻液包含氨和强双氧水。,氨与强双氧水的生产能力比为1。,酸蚀液的气温余地为35~45℃。,衰败工夫为3-5分钟;

第五层Gainp碱性保卫涂层的衰败换异为F。:

衰败性碱衰败喝酒的构造,衰败性喝酒包含氢氯酸和水。,氢氯酸与水的生产能力比为1。,室温下碱衰败喝酒,衰败工夫为30s-90s;

第五层Gainas酸保卫层衰败术语为:

衰败性酸喝酒的构造,蚀刻液包含氨和强双氧水。,氨与强双氧水的生产能力比为1。,酸蚀液的气温余地为35~45℃。,衰败工夫为3-5分钟;

靠近104、用去离子水洗涤。

本详细讲解的优点和积极的所有物如次:

1、本详细讲解是因为基片复用新2网址太阳能电池。,在牺牲行为层和基板经过筹集保卫层。。保卫层能无效转移氟化氢与砷化镓亚基发作浮动诊胎法。。它何止保卫砷化镓因为不受衰败。,它还转移氢氟酸和。确保了被剥离的砷化镓基板的高质量的。

2、本详细讲解所采取的保卫层是一种多整套酸性蛋白状黏液。,一方面多整套更迭内涵种植的酸性保卫层和碱性保卫层能更无效的起到阻挠保卫的功能,在另一方面,保卫层需求在因为在前去除。,酸性和碱性喝酒的屡次更迭衰败,基体外面的杂质能更无效地去除,折扣外面的粗糙度,养育复合基板的高质量的。

3、用物质的化学组成方法可以设法对付外面的粗糙度较低的高高质量的基体。,而不是物质的化学组成机械抛光剂,能无效折扣虚构本钱和术语财政困难。

4、本详细讲解对折扣新2网址太阳电池的本钱异常无益,极大地提起了新2网址太阳能电池在空的与余地的敷用药远景。

附图阐明:

图1筹集了衬底保卫层的新2网址太阳电池构造示意图;

图2砷化镓衬底衰败剥离示意图;

图3因为保卫衰败示意图。

里面:1、砷化镓电池;2、牺牲行为层;3、GAINP碱性保卫层;4、Gainas酸保卫层;5、GAINP碱性保卫层;6、Gainas酸保卫层;7、GAINP碱性保卫层;8、Gainas酸保卫层;9、GAINP碱性保卫层;10、Gainas酸保卫层;11、GAINP碱性保卫层;12、Gainas酸保卫层;13、砷化镓缓冲层;14、GaAs衬底。

详细器械方法

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